韓國INFOVION公司蒸鍍?yōu)R射設(shè)備
韓國INFOVION公司蒸鍍?yōu)R射設(shè)備
INFOVION公司是韓國專業(yè)生產(chǎn)真空蒸鍍?yōu)R射設(shè)備的廠家，其產(chǎn)品精度高、穩(wěn)定性好，具有高性價比，并成功引入微電子所等中國企業(yè)，得到用戶的廣泛認(rèn)可。
工藝腔：9個有機(jī)分子源，單片玻璃尺寸（100*100mm/0.5~0.7t），優(yōu)良的均勻性（≤±3%）,可有效控制沉積速率，精確襯底對準(zhǔn)銷對準(zhǔn)，過渡艙模塊，機(jī)械臂真空轉(zhuǎn)移試樣；
手套箱：單工位，內(nèi)含旋轉(zhuǎn)涂膜和UV固化；
控制系統(tǒng)：菜單式操作、數(shù)據(jù)記錄、參數(shù)設(shè)置，全OLED蒸鍍設(shè)備OLED蒸鍍設(shè)備OLED蒸鍍設(shè)備自動電腦控制，帶互鎖。
OLED蒸鍍設(shè)備
◆ 該設(shè)備蒸發(fā)速率穩(wěn)定。
有機(jī)物和金屬都能穩(wěn)定蒸發(fā)；尤其是，獨(dú)特設(shè)計使得該設(shè)備可很好地控制金屬鋁的蒸發(fā)。
◆ 蒸鍍的厚度均勻性優(yōu)良。
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